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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
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2025鉛鋅產業市場研討會
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聚合物平面納米溝道制作方法

872 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:32:28

本發明一種聚合物平面納米溝道制作方法,屬于微納流控芯片制造技術領域,涉及一種聚合物平面納米溝道的制作方法,應用在生命科學、醫學、分析化學等領域。聚合物平面納米溝道制作方法首先基于標準的紫外光刻和化學濕法腐蝕技術在聚合物基片上制作出線寬為微米級的金屬掩蔽圖形,接著利用一臺等離子體清洗機對暴露在外的聚合物進行氧氣等離子體刻蝕,通過設定刻蝕時間,便可以精確控制聚合物納米溝道的刻蝕深度;最后利用化學濕法腐蝕去除金屬掩蔽圖形,便得到了聚合物平面納米溝道。本發明不需要為實現聚合物刻蝕而購買操作復雜、價格昂貴的反應離子刻蝕或感應耦合等離子體刻蝕設備。納米溝道的整個制作過程簡單、周期短、成本低。

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聲明：

“聚合物平面納米溝道制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:92

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

下載:90

10 非常規礦產品取制樣方法的探討

下載:89

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