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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
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碳酸鋰質檢及倉單生成流程
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> CMP仿真模型的建立方法及系統

CMP仿真模型的建立方法及系統

924 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:32:27

本發明提供一種CMP仿真模型的建立方法，包括：根據研磨液中化學組分的化學反應以及研磨顆粒的機械去除機理，建立化學動力去除模型，所述化學動力去除模型的去除速率至少與化學組分的濃度以及機械研磨速率相關；根據晶圓表面和研磨顆粒的受力分析以及研磨墊的形變分析，建立晶圓與研磨顆粒及研磨墊的接觸力學模型；建立研磨液化學組分在晶圓表面不同區域的濃度分布模型；根據所述接觸力學模型和所述濃度分布模型，通過所述化學動力去除模型建立多物理去除模型。該模型可以深刻闡釋晶圓表面材質的多物理去除機制，進而實現晶圓表面形貌以及工藝偏差的動態模擬，為CMP工藝中參數設置以及設計優化提供指導。

登錄解鎖全文

聲明：

“CMP仿真模型的建立方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

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