本發明公開了一種表面形貌仿真的方法及系統,包括:(1)實時獲取晶圓與研磨墊接觸區域的彈性形變量;(2)根據所述彈性形變量計算所述接觸區域內研磨墊與晶圓之間的接觸力;(3)根據所述接觸力計算所述晶圓表面的研磨去除率;(4)根據所述研磨去除率更新晶圓表面形貌;重復執行上述步驟(1)至步驟(4),直至達到預定研磨效果。由于本發明采用了微元受力分析模型,并且研磨墊彈性形變完全符合所述微元應力分析模型的彈性形變條件,保證了獲取的晶圓接觸力精準性,根據所述晶圓接觸力獲取的研磨去除率更精準。同時該方法計算簡潔,可以用于實時預測化學機械研磨過程中晶圓表面形貌仿真。
聲明:
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