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第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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溝槽型功率晶體管及其制作方法

704 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:29:45

針對現有的制作工藝形成的溝槽型功率晶體管易出現漏電流過大問題，本發明人對其產生原因進行了分析，發現其中一個原因為：對功率晶體管溝槽外的多晶硅和柵極氧化層進行平坦化處理時，上述平坦化處理一般采用研磨法，例如化學機械研磨（CMP），對于柵極氧化層較薄的情況，上述研磨會由于終點難以檢測，造成功率晶體管溝槽開口處的多晶硅及周圍外延層出現過度研磨，從而造成功率晶體管的溝道過短，出現短溝道效應。針對上述問題，本發明提出一種新的溝槽型功率晶體管及其制作方法，其制作方法在外延層上至少形成研磨終止層，利用其對研磨過程進行終點檢測，從而避免過度研磨問題，也避免了制作的功率晶體管的短溝道效應，減小了源-漏漏電流。

登錄解鎖全文

聲明：

“溝槽型功率晶體管及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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