本發明提供一種基于溫度調節性能的石墨烯仿生光探測器及其制備方法,所述制備方法包括:1)提供石墨烯及微加熱器平臺,并將所述石墨烯轉移至所述微加熱器平臺上;2)將步驟1)所得到的結構置于化學氣相沉積反應爐中退火;3)于退火后的所述石墨烯表面通過試劑進行修飾,形成具有活性基團的活性薄膜;4)于所述活性薄膜表面形成光受體蛋白。本發明通過采用懸膜式的加熱結構連接石墨烯,并在石墨烯表面修飾光受體蛋白,一方面采用光受體蛋白實現波長選擇性,提高光吸收率;另一方面采用懸膜式加熱結構,減少襯底對石墨烯性能的影響,更可以通過加熱電壓來調節工作溫度,從而調節光生載流子遷移率和濃度,以提高光探測器件的性能。
聲明:
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