本發明提供一種電容-電壓測試預處理的方法,包括如下步驟:提供一待測試片;將所述待測試片置于臭氧環境中進行預處理,以形成一氧化層。本發明的優點在于,采用臭氧處理測試片表面后,大大簡化了處理的流程,縮短了預處理的時間,僅占現有預處理方法20%左右的預處理時間。并且由于不使用化學藥劑,具有處理更加高效、更加環保、更加安全、更加節約成本、且測試重復性好等優點。
聲明:
“電容-電壓測試預處理的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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