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鍺基探測器的集成方法

732 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:27:47

本發明提供一種鍺基探測器的集成方法，包括以下步驟：提供第一襯底，在第一襯底上形成氮化硅波導結構；提供第二襯底，在第二襯底上外延鍺以形成鍺薄膜層，在鍺薄膜層上繼續外延鍺以形成鍺基外延層，并化學機械拋光；在鍺基外延層上沉積高k金屬氧化物以形成高k金屬氧化物層；將第二襯底的高k金屬氧化物層與第一襯底鍵合；減薄第二襯底至第一厚度，腐蝕掉第一厚度的第二襯底；化學機械拋光以去除鍺薄膜層；在鍺基外延層上制備形成鍺基探測器。本發明因為去除了低質量的鍺薄膜層，因此提高了后續形成的光電器件的性能。

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聲明：

“鍺基探測器的集成方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

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2 取、制樣安全淺析

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3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

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4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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