本實用新型提供了一種監測特氣的裝置及半導體設備,所述監測特氣的裝置包括指示劑容器、光譜偵測系統、處理器和報警器;指示劑容器內包含指示劑,指示劑用于與特氣發生化學反應并發生顏色變化;光譜偵測系統和報警器分別與處理器連接;光譜偵測系統用于獲取指示劑的顏色;處理器用于判斷是否發生特氣泄漏,并控制報警器開啟或關閉。指示劑不易受酒精等其它物質干擾,并且可以與微小濃度的特氣快速發生化學反應,從而可以在特氣發生微量泄漏時即可發出報警信號,提高了安全性。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)