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            > 非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用

            非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用

            967   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:27:47
            本發明涉及光伏探測技術領域,具體涉及一種非晶MgGaO薄膜的光伏探測器及其制備方法和應用,包括利用金屬有機化合物化學氣相沉積法使有機鎂化合物、有機鎵化合物和氧源在襯底的表面生長MgGaO薄膜;在MgGaO薄膜上形成叉指電極;在叉指電極上按壓In粒,得到MgGaO光伏探測器,使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備MgGaO薄膜,使MgGaO薄膜具有結晶質量高、不出現分相、吸收截止邊陡峭的優點,解決了傳統的制備方法所制備的MgGaO薄膜晶體質量不高,缺陷態較多的問題。
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