一種用于監測制造系統中的制造工藝的監測裝置。所述監測的制造系統包括工藝室和多個流程部件。石英晶體微天平(QCM)傳感器監測制造系統的多個流程部件中的一個流程部件,并且被配置用于在制造工藝期間暴露到該一個流程部件中的工藝化學品??刂破鳒y量由于在制造工藝期間QCM傳感器和該一個流程部件中的工藝化學品之間的相互作用而導致的QCM傳感器的諧振頻率偏移??刂破鞔_定工藝室中的制造工藝的參數,所述工藝室中的制造工藝的參數是作為該一個流程部件內的QCM傳感器的所測量的諧振頻率偏移的函數。
聲明:
“用于制造工藝監測的石英晶體微天平傳感器及相關方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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