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            硅材料機械強度的測試方法

            952   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:25:59
            本發明公開的硅材料機械強度的測量方法是以測量硅材料的位錯滑移長度來確定其機械強度的,依次包括如下步驟:首先將從硅材料上割取的試樣硅片進行拋光,除去表面損傷層;然后用硬度計壓頭在硅片表面制造壓痕,壓痕四周引入位錯;再在保護氣中對硅片進行熱處理,使位錯發生滑移;接著冷卻硅片,用化學腐蝕液腐蝕,顯示位錯的滑移;最后測量位錯滑移長度。應用該方法簡便易行,便于從微觀角度確定雜質對硅材料機械強度的影響。
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            “硅材料機械強度的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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