本發明公開了硬脆性光學材料亞表面損傷層厚度的測量方法,首先使用磁流變加工工藝在樣品表面加工出一特定剖切平面,剖切亞表面損傷層,并將亞表面損傷反映到剖切平面上;使用腐蝕性化學試劑對剖切平面進行處理,將剖切平面上的亞表面裂紋暴露放大;使用粗糙度測量工具測量剖切平面上不同位置處的粗糙度值,得到粗糙度值變化曲線;由粗糙度曲線上取得數據開始趨向平穩的臨界點或極點,及測量過程中記錄下的起始點,求得這兩點之間的高度差或投影在原有表面兩點的高度差,即樣品亞表面損傷層厚度D。采用本發明方法快捷、準確,可測量多面型、多材料的光學樣品,亦可實現大口徑、工程化應用。
聲明:
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