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> 碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法

碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法

729 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:25:57

本發明公開了一種碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法,用于對碲鋅鎘像素探測器電極進行鈍化,降低漏電流。所述方法首先采用CdZnTe晶體,進行線切割,研磨、機械拋光、清洗后在2%Br-MeOH中化學拋光,得到待用的CdZnTe晶片。然后將經機械拋光和化學拋光的CdZnTe晶片通過清洗、涂膠、烘干、曝光、顯影、真空蒸鍍電極和剝離等工藝,制備出像素探測器電極;然后放入RIE-3型反應離子刻蝕機中抽真空,真空度為0.3333～0.3999Pa;調節氧氣流量為70～80cm3/min;調節工作氣壓為0.5～1.0Pa;調節射頻功率為8～12W;刻蝕時間為35～50min。通過上述步驟CdZnTe像素探測器電極間的CdZnTe表面生成致密氧化物薄膜,漏電流減小了一個數量級,達到了鈍化目的。?

登錄解鎖全文

聲明：

“碲鋅鎘像素探測器電極的鈍化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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