本發明公開了一種基于LIF的氧原子絕對濃度時域/空域分辨的測試方法及裝置,所述測試方法是利用高時域/空域分辨激光誘導熒光檢測裝置實現的,其包括如下步驟:一、基于雙光子激光誘導熒光光譜的氧原子濃度表征;二、NO2化學滴定法對氧原子濃度進行定量標定。所述高時域/空域分辨激光誘導熒光檢測裝置包括激光誘導源子系統、高空間分辨光路子系統、熒光采集子系統和集成與同步控制子系統四部分。本發明通過檢測基態氧原子的熒光光譜獲得原子相對濃度,結合NO2化學滴定可實現氧原子濃度的定量化測量,配合測試裝置中的高空間分辨光路系統和熒光采集系統,實現氧等離子體環境中氧原子絕對濃度的時域/空域高分辨精確測量。
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