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            TSV電鍍銅填充效果的測試方法

            1104   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:24:15
            一種TSV電鍍銅填充效果的測試方法屬于材料制備與連接領域。包括步驟1:將化學機械拋光后的TSV晶圓樣品切割取樣,并將取自晶圓上不同區域的TSV樣品置于坩堝中;步驟2:隨后將坩堝放入管式爐中,并在管式爐中通入氬氣作為保護氣體;以10℃/min的升溫速度將管式爐中的溫度升至后保溫;保溫過程完成后,關閉管式爐加熱裝置,保持樣品仍然在氬氣保護下放置于管式爐的石英管中。打開管式爐保溫爐蓋,將石英管以及其中的TSV樣品進行空氣冷卻。步驟3:當管式爐中的溫度降低至室溫后,解除石英管的密封狀態,將石英管中的樣品取出,在金相顯微鏡下觀察。本發明分析周期短,有效方便、費用低,可以節約時間和成本。
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            “TSV電鍍銅填充效果的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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