本發明公開了一種檢查SAT(次常壓化學汽相淀積設備)汽化閥堵塞的方法,包括:通過一次成膜制作硼磷硅玻璃光片,作為測試片一;采用相同工藝和參數通過多次成膜制作與測試片一厚度相同的硼磷硅玻璃光片,作為測試片二;對測試片一和測試片二進行硼磷濃度測量;比較測試片一和測試片二中的硼磷濃度;當硼濃度相差大于等于0.4mol%,磷濃度相差大于等于0.2mol%,判定汽化閥堵塞;當硼濃度相差小于0.4mol%,磷濃度相差小于0.2mol%,判定汽化閥暢通。本發明檢查SAT汽化閥堵塞的方法能快速檢測BPSG成膜是否有濃度異常,能準確判斷汽化閥是否堵塞。
聲明:
“檢查SAT汽化閥堵塞的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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