提供一種利用線性和非線性光學現象以檢測缺陷的光學檢查設備和方法。實施例包括:利用光束,例如,入射波長的掃描激光,輻照物品的部分表面,例如,半導體器件。利用衍射光柵,棱鏡或濾光片,使輻照表面部分射出的光被分割成入射波長的光和一個或多個預定的非入射波長的光。入射波長和非入射波長的光發送到分開的檢測器,例如,光電倍增管(PMT),這些檢測器分別把檢測的線性光學現象(例如,代表表面形態)轉換成電信號和把檢測的非線性光學現象,例如,熒光,喇曼散射和/或倍頻效應,轉換成代表化學成分和材料界面的電信號。來自每個檢測器的信號發送到處理器,該處理器基于從線性和非線性光學現象收集的信息產生缺陷圖。
聲明:
“利用非線性光學現象的激光掃描晶片檢查” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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