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第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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材料行業
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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FinFET鰭片摻雜濃度分布的測量方法和測量樣品制備方法

1098 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:20:09

本發明提供一種FinFET鰭片摻雜濃度分布的測量樣品制備方法，包括：提供半導體襯底，在半導體襯底上形成多個鰭片，在鰭片的頂部形成有硬掩膜層；形成襯墊氧化物層，以覆蓋半導體襯底的表面、鰭片的側壁以及硬掩膜層的側壁和頂部；在鰭片之間形成隔離結構；沉積絕緣層，以完全填充鰭片之間的間隙；執行化學機械研磨，直至絕緣層的頂部平坦化。本發明還提供一種FinFET鰭片摻雜濃度分布的測量方法，包括：將制備好的測量樣品分割為結構完全相同的第一子樣品和第二子樣品；分別對第一子樣品和第二子樣品實施二次離子質譜分析和透射電子顯微鏡橫截面分析；將得到的分析數據傳送至工藝計算機輔助設計工具模擬計算分析得到鰭片摻雜濃度分布。由此提高測量精確度。

登錄解鎖全文

聲明：

“FinFET鰭片摻雜濃度分布的測量方法和測量樣品制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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