本發明提供一種雙頭質量傳感器(25),其中在相應側邊與一個第一膜片(21A)相連的一個第一連接片(22A)和與一個第二膜片(21B)相連的一個第二連接片(22B)之間,跨接有一個第一傳感片(41A),在該傳感片在至少一個平面表面上設置有一個主元件(44),由所說膜片(21A)(21B)、所說連接片(22A)(22B)、所說第一傳感片(41A)和所說主元件(44)構成的一個諧振部分與一個傳感器基板(27)相連。通過測量由于膜片(21A)(21B)質量變化引起的諧振部分諧振頻率的變化測得所說膜片(21A)(21B)中每一個的質量變化。本發明的質量傳感器能夠容易而且高精度地測量毫微克量級的微小質量,包括微生物如細菌和病毒、化學物質,以及測量蒸氣沉積膜的厚度。
聲明:
“雙頭質量傳感器和質量檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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