<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法

            適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法

            805   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:19:35
            本發明公開了一種適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法,包括襯底上淀積電熱絕緣材料和基底材料;光刻和干法刻蝕的方法制作圖形作為制備側墻的基底;淀積側墻材料;干法回刻形成高和寬均為納米尺寸的側墻;用濕法腐蝕的方法去側墻基底;光刻或電子束光刻+薄膜淀積+剝離工藝在側墻上搭上制作電極金屬層;薄膜淀積工藝制備絕緣材料層;化學機械拋光方法拋光表面同時切斷側墻兩旁的金屬連接;濕法腐蝕方法去除剩余的側墻材料形成納流體通道;晶片鍵合封頂,減薄封頂晶片;通道兩端開孔并在通道兩側的金屬上開孔引出電極即得。本發明能突破光刻分辨率限制及提高芯片單元與CMOS工藝的兼容性,并提高適于生物分子檢測的芯片單元的制備效率。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “適于生物分子檢測的芯片單元的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>