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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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?化學吸收碳捕集和利用技術下載：109
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用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法

1160 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:19:32

本發明公開了一種用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法，包括：襯底上淀積電熱絕緣材料、第二側墻材料、基底材料；光刻和干法刻蝕法制作第一側墻基底；淀積第一側墻材料，用濕法腐蝕的方法去除第一側墻的基底；以第一側墻為掩膜干法刻蝕第二側墻材料形成堆疊側墻1；制作金屬層；用薄膜淀積工藝制備絕緣材料層；用化學機械拋光制作納流體通道，保留剩余的第一側墻作為通道封頂層，然后去除光刻膠，最后再在通道兩側的金屬上方開孔引出電極2即可形成適于生物分子檢測的芯片單元。本發明能突破光刻分辨率限制及提高芯片單元與CMOS工藝的兼容性，并提高適于生物分子檢測的芯片單元的制備效率。

登錄解鎖全文

聲明：

“用于生物分子檢測的芯片單元的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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