一種兆聲清洗中晶圓轉速檢測裝置、清洗系統及其工作過程,所述檢測裝置與從動帶輪組件連接,包括內置于晶圓轉子一端的鍵槽內的第二磁芯、內嵌于晶圓轉子帶輪套的第一磁芯、連接在從動帶輪端部的計數盤和設置在計數盤側邊的轉速傳感器。所述第二磁芯位于裝置的中心位置、第一磁芯位于第二磁芯的一側,且兩者呈異性放置。本發明解決了現有技術中長期存在的問題,采用這種裝置,可快速、精確、有效地完成晶圓旋轉檢測,結構簡單,使用方便,而且成本低,有利于提高工作效率和質量,可廣泛應用于晶圓的化學機械拋光(CMP)、減薄等領域。
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