本發明公開了一種基于熱擴散梯度的元件級裂紋檢測方法及裝置,應用于元件級電子器件裂紋的檢測,所述方法包括以下步驟:獲取待測元件表面的輻射場強度;基于所述輻射場強度,建立待測元件表面的不連續圖像的成像;根據所述不連續圖像的成像,確定待測元件表面的裂紋信息,本發明還提供用于實施上述方法的裝置,通過對元件表面裂紋進行間接性的檢測識別,避免了靜電、化學、物理等因素對元件的二次損傷,同時通過熱反應原理對元件表面裂紋進行檢測,提高了檢測的準確性和安全性。
聲明:
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