本發明提供了一種工藝腔室氣體檢測系統及其操作方法,該檢測系統包括一腔體、一抽氣單元、一抽氣管、一連接管以及一氣體檢測器。前述腔體配置于執行化學氣相沉積工藝,抽氣管連接腔體與抽氣單元,連接管連通抽氣管,氣體檢測器則設置于該連接管上,并用以檢測來自該腔體內的氣體中的氧氣含量。本發明的工藝腔室氣體檢測系統可通過氣體檢測器檢查腔體是否有微小外漏,因而可及時停止CVD工藝與作適當處理以避免過多不良的生成品產生,進而提升工藝品質。
聲明:
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