本實用新型涉及一種清洗系統,用于真空管道清洗,包括檢測裝置、離化裝置、抽吸裝置和開關裝置,所述檢測裝置設于真空管道上并用于檢測真空管道內沉積物的含量,所述離化裝置連接真空管道并用于將能與沉積物反應的清潔物質注入真空管道,所述抽吸裝置連接并用于抽吸真空管道,所述開關裝置設于真空管道上并用于在沉積物的含量超過預設上限值時切斷真空管道。如此一來,清洗真空管道時,可以免去拆卸真空管道的麻煩,而且無需送外清洗,節省了清洗時間和成本,特別地,在線清洗可以縮短生產設備的停機時間,提高生產效率。
聲明:
“清洗系統及其化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)