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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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焊盤缺陷的檢測方法

949 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:04:37

本發明提供一種焊盤缺陷的檢測方法，包括步驟：1）提供形成有第一金屬焊盤結構半導體器件；2）采用顯微分析法確定所述第一金屬焊盤表面的缺陷區域，其中，所述缺陷區域為第一金屬突起缺陷或第二金屬擴散缺陷；3）采用腐蝕溶液對所述缺陷區域進行腐蝕，其中，所述腐蝕溶液對所述第一金屬的腐蝕速率遠大于對所述第二金屬的腐蝕速率；4）采用顯微分析法對所述缺陷區域進行檢測，其中：若所述缺陷區域被去除，則判斷所述缺陷區域為第一金屬突起缺陷；若所述缺陷區域未被去除，則判斷所述缺陷區域為第二金屬擴散缺陷。本發明通過對焊盤缺陷區域進行化學處理前后形貌的對比，可以快速有效地區分出鋁突起缺陷及銅擴散缺陷，并幾乎可以實現零誤判。

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聲明：

“焊盤缺陷的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

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2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

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4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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