使再循環漿料連續不斷地與使用中的漿料混合,可以提供一個一致的研磨速率,同時只消耗或廢棄了一小部分連續流過研磨墊板的漿料。漿料是在一收集環內回收,并送到一個再循環回路中,從而使該回收漿料與新鮮漿料、再生化學物或水混合;測試混合物;過濾混合物;使混合物返回研磨墊板。返回研磨墊板的體積略大于回收的體積,因而使收集環溢流。也可以用同樣的方式使沖洗水再循環,以便使研磨墊板在兩個研磨周期之間保持濕潤。
聲明:
“化學-機械研磨設備中的漿料再循環” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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