本發明公開一種金屬有機物化學氣相淀積設備的恒流配氣系統及控制方法,該配氣系統主要包括MO源模塊,載氣加載管路,MO汽輸出管路,在載氣加載管路設有質量流量計M1、真空閥A,在MO汽輸出管路裝有壓力控制器、真空閥B,兩管路經各自的真空閥與MO源模塊連接,在載氣加載管路和MO汽輸出管路之間連接裝有真空閥C的載氣短路管路和裝有質量流量計M2的載氣分流管路。通過切換真空閥A、B和C控制MO源切換;控制M1和M2的流量比來改變MO蒸汽量;并使配氣系統的氣流量始終保持恒定。由此保證了反應室的溫度、壓力參數的穩定。經與現有技術制備的同類生成物進行PL譜對比測試證明,本發明的生成物淀積質量好,一致性好及具有MO資源充分利用不排污的優點。
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