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            化學輔助離子束刻蝕系統樣品臺

            1061   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:03:20
            一種在真空室外加熱和測溫并可調節高度的化學輔助離子束刻蝕系統樣品臺。它是在臺面下面接上波紋管和支撐桿,波紋管另一端通過圓環柱接在法蘭上,法蘭通過管壁與真空室底端法蘭相連,使加熱和測溫部分與真空室隔離,便于在大氣中進行操作,支撐桿通過一固定件伸出來,下端有螺紋,旋上螺母可調節臺面高度。
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            “化學輔助離子束刻蝕系統樣品臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
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