本實用新型公開了一種用于化學機械拋光設備的拋光液供應裝置,其包括與去離子水輸送管和拋光液輸送管連通的三通電磁閥、與三通電子閥輸出管連通的流量計、與流量計連通的拋光液存儲罐、設于拋光液存儲罐上方的攪拌電機、由攪拌電機驅動的攪拌葉片、設于拋光液存儲罐內的用于冷卻的盤管、液位傳感裝置以及測溫裝置,拋光液存儲罐通過輸出管連通至待拋光材料;攪拌電機經由變頻調速器控制,所述拋光液存儲罐外部設有保溫層。本實用新型通過流量計控制拋光液和去離子水的量來配比所需拋光液的濃度,攪拌電機將拋光液和去離子水混合均勻;本實用新型可自動配比拋光液濃度,并通過設置的測溫裝置來調節盤管內冷卻液的溫度,以保持溫度的恒定。
聲明:
“用于化學機械拋光設備的拋光液供應裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)