本實用新型公開了一種用于化學濕法單面減薄單晶硅片的模具,包括主體部分,蓋子部分和觀測部分,各部分的要求:(a)主體形狀為正多棱柱形,內腔室為圓柱體;棱柱一側封閉,一側為凹槽形開口結構,凹槽有內螺紋;棱柱頂面開口,有相連的兩個邊長不同的正方形;小正方形側面存在對稱凹槽,用于嵌合觀測部件,大正方形開口為添加溶液位置。(b)蓋子部分為凸臺圓環形;凸臺外側車有外螺紋,用于結合主體部分凹槽螺紋。(c)觀測部件整體大小與主體部分頂部小正方形開口大小一致;側面對稱凸起用于固定觀測部件;下部開有孔洞形通道用于固定LED燈頭。本實用新型模具具有操作簡單,可原位觀測硅片,密封性好等優點。
聲明:
“用于化學濕法單面減薄單晶硅片的模具” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)