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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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?化學吸收碳捕集和利用技術下載：109
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用于化學干式蝕刻系統的系統和方法

1093 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:01:16

一種用于化學干蝕刻系統的系統和方法。本發明提供了一種執行用于集成電路制造的蝕刻工藝的方法。該方法包括提供半導體晶片,所述半導體晶片包括待在等離子體室中進行蝕刻的層。該方法還包括將半導體晶片保持在預定環境中的步驟。該方法包括使層的一部分經受等離子體環境。等離子體環境包括一種或更多種等離子體物質。例如,等離子體物質用于執行蝕刻。該方法還包括使用感測設備監視第一傳輸裝置中的壓力條件。傳感設備在空間上配置在閥和抽運設備之間。閥耦合到等離子體室所耦合的第二排氣裝置。該方法還包括確定在第一排氣裝置內的壓力條件是否在預定條件內。該方法包括,如果在第一排氣裝置內的壓力條件在預定條件內,則通過第一排氣裝置、通過閥以及通過第二排氣裝置將一種或多種等離子體物質去除。

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“用于化學干式蝕刻系統的系統和方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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