本實用新型涉及半導體制造技術領域,具體地說是一種化學品供應系統,包括供應柜部分和管路部分,所述供應柜部分通過管路部分連接化學品用戶端,所述供應柜部分包括桶槽(1)、泵(2)和過濾器(3),所述管路部分包括管路(4)和閥箱(5),所述桶槽(1)、泵(2)、過濾器(3)、閥箱(5)通過管路(4)相連;本實用新型同現有技術相比,不僅結構新穎、簡單,運行穩定、可靠,操作起來也非常方便,而且由于在該化學品供應系統中設有監控部分,并在該監控部分中設置了泄漏偵測器,從而可以盡快地發現問題并及時地解決問題,給現場操作人員的生命安全帶來了保障,最終最大限度地保證了現場人員的人身安全,其安全系統非常高。
聲明:
“化學品供應系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)