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第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
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2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
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高熵能源材料
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廢酸資源化處置利用概述
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譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

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化學場效應晶體管氣敏傳感器及其制造方法

980 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:01:14

本發明涉及一種化學場效應晶體管氣敏傳感器及其制造方法，所述氣敏傳感器具有至少一個場效應晶體管，其包括：半導體襯底；形成在半導體襯底上的源區、漏區；形成在源區與漏區之間的襯底表面上的溝道區；形成在溝道區上的絕緣層；以及形成在絕緣層上的敏感層，其作為柵極。以及將相同和/或不同柵區氧化層面積、形狀、溝道寬長比和/或柵氧化層厚度的多個場效應晶體管組成傳感器陣列。與普通MOSFET化學場效應管相比，本發明中的化學場效應管將金屬或多晶硅柵極去掉，通過器件的開關狀態變化分辨氣體種類并測量氣體濃度，具有靈敏度高、制造成本低等優點。

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聲明：

“化學場效應晶體管氣敏傳感器及其制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:140

2 取、制樣安全淺析

下載:132

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:97

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:96

7 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:93

8 礦產品人工取樣方案的制定及案例

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 制樣室裝修設計技巧

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