<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 化學分析技術

            > 研磨液、化學機械研磨方法

            研磨液、化學機械研磨方法

            938   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:01:13
            本發明的課題是提供一種可賦予面內均勻性優異的被研磨體的研磨液。并且,提供一種使用上述研磨液的化學機械研磨方法。本發明的研磨液是使用于化學機械研磨中的研磨液,其含有研磨粒、有機酸及水溶性高分子,且同時滿足下述式(1)~式(3)。式(1):1.5≤η100rpm/η1000rpm≤20;式(2):1.2≤η100rpm/η500rpm≤10;式(3):η100rpm/η1000rpm>η100rpm/η500rpm,在式(1)~式(3)中,η100rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速100rpm測定的上述研磨液的粘度,η500rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速500rpm測定的上述研磨液的粘度,η1000rpm是在40%RH、23℃下通過旋轉粘度計以轉速1000rpm測定的上述研磨液的粘度。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “研磨液、化學機械研磨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            化學分析
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>