本申請實施例提供一種用于化學機械研磨工藝的保持環、研磨頭及研磨裝置。所述保持環上開設有多個溝槽,所述溝槽貫穿所述保持環的內、外側壁;在所述保持環的外側壁上設置有用于監測所述溝槽深度的刻線。本申請實施例提供的用于化學機械研磨工藝的保持環,在保持環的外側壁上設置有刻線,用于監測所述溝槽深度,以便于在研磨進行過程中,實時監測溝槽深度是否滿足研磨工藝的需求,以便及時更換保持環,提高化學機械研磨的效率和研磨效果。
聲明:
“用于化學機械研磨工藝的保持環、研磨頭及研磨裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)