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化學增幅型正型光致抗蝕劑組合物以及抗蝕圖案的形成方法

797 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:00:53

一種化學增幅型正型光致抗蝕劑組合物,是在一個基板上形成集成電路和液晶顯示部分的基板制造用的化學增幅型正型光致抗蝕劑組合物,其特征是:含有(A)樹脂成分、(C)通過放射線的照射而產生酸成分的化合物、和有機溶劑,具有通過由所述(C)成分所產生的酸成分的作用而在堿水溶液中的溶解性增大的性質,該光致抗蝕劑組合物中所含的固體成分的、通過凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)在3000～100000的范圍內。根據本發明可提供滿足對于在1個基板上形成集成電路和液晶顯示部分的系統LCD的制造用所要求的耐熱性、分辨力、線性、和DOF特性,同時具有良好的感度的光致抗蝕劑組合物及抗蝕圖案的形成方法。

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化學分析

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