一種化學液體稀釋控制系統包括流體供應裝置用以提供流體,且對于流體施加第一壓力;溶劑供應裝置用以提供溶劑;混合裝置連接且連通于流體供應裝置及溶劑供應裝置,使流體與溶劑于混合裝置內混合成為稀釋的化學液體;第一輸送管路連接且連通于混合裝置,用以輸送化學液體;第一參數測量單元設置于第一輸送管路上,且用以測量化學液體的參數。當化學液體的參數數值未介于化學液體的預設參數范圍內時,第一參數測量單元發出第一控制信號至流體供應裝置,對于流體施加不同于第一壓力的第二壓力,以使化學液體的參數數值往預設參數范圍變動,藉以調控參數數值位于預設參數范圍。
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