本發明提供一種易揮發液態化學品供應系統及供應方法,系統包括:供應槽;化學品輸入管路,用于向供應槽輸入化學品,其設有開關控制閥;液位偵測器,用于在偵測到化學品液位超過預設液位時,發送液位控制信號至開關控制閥以切斷化學品輸入管路的輸入;重量偵測器,用于在偵測到化學品的重量超過預設重量值時,發送重量控制信號至開關控制閥以切斷化學品輸入管路的輸入;供應管路,用于將化學品供應至機臺。本發明的易揮發液態化學品供應系統具有雙重安全保障,只要液位偵測器和重量偵測器的其中一路控制信號正常,即可保證化學品及時切斷供應,極大的降低了安全風險。本發明的重量偵測器校正方便、更換簡單,可大大縮短機臺停用時間。
聲明:
“易揮發液態化學品供應系統及供應方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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