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            化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法

            826   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:00:47
            本發明涉及一種化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法,將自動測漏步驟加入到化學氣相淀積跑片過程的氫氟酸清洗步驟中。采用該方法進行化學氣相淀積反應腔中漏率的監測,可以做到實時監測,減少在機臺異常情況下制造產品的狀況發生,一旦有問題可以報警并及時解決;并且將漏率監測植入到正常的產品制造流程之中,對機臺的可服務時間沒有影響;同時,采用此方法,在機臺做完漏率監測步驟之后可以直接執行后續的開啟等離子體等步驟,可以避免手動測漏,機臺反應腔降溫而死機。
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            “化學氣相淀積反應腔中漏率的監控方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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