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第六屆中國浮選大會
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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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化學機械拋光方法

929 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:00:47

本發明公開了一種化學機械拋光方法,所述化學機械拋光方法包括:A)利用終點測量裝置測量晶圓上的多個點的膜厚前值;B)根據多個點的膜厚前值對晶圓進行化學機械拋光;和C)利用終點測量裝置測量多個點的膜厚后值,并根據多個點的膜厚后值來判斷晶圓的表面拋光厚度是否均勻,如果晶圓的表面拋光厚度不均勻,則根據多個點的膜厚前值與膜厚后值的差值對晶圓進行化學機械拋光直至晶圓的表面拋光厚度均勻。利用根據本發明實施例的化學機械拋光方法對晶圓進行化學機械拋光時無需再使用在線測量裝置,從而不僅可以大大地簡化進行化學機械拋光的化學機械拋光設備的結構,降低化學機械拋光設備的成本,而且可以大大地降低晶圓的化學機械拋光成本。

登錄解鎖全文

聲明：

“化學機械拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

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5 樣品變質引起采制樣和結算問題

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6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

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