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            > 用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器

            用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器

            899   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:00:46
            本發明公開了一種用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器,主要由機架、電機、減速器、氣囊、同步帶和帶輪、擺動臂、支撐軸、支撐底板、球頭萬向結構、檢測傳感器等部件組成。本裝置主要是通過杠桿機構對氣囊充氣以帶動擺動臂抬升、下降及對拋光臺施加修整力的。采用皮帶輪傳動方式將電機和減速器遠離拋光區域放置,同時整個修整器外部安裝有不銹鋼防護罩以避免內部電子元器件的腐蝕。為了解決修整輪與拋光臺面的接觸問題,在修整端設計有球頭萬向結構。本發明的拋光墊修整器可以實現結構和控制方式簡單,無交叉污染,修整效果好,同時顯著延長拋光墊的使用壽命。
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            “用于晶圓化學機械平坦化設備中的拋光墊修整器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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