本發明涉及一種基于沸石膜光纖諧振腔的生物化學傳感器,屬于微傳感器領域。本發明包括承載基片、沸石薄膜、微光纖;承載基片上加工有環形槽和一個通槽;一根微光纖同時穿過環形槽與通槽,且環形槽與通槽相切處的微光纖相交,微光纖兩端與通槽固定;本發明的制作方法,首先在承載基片上加工有環形槽和通槽;將單模光纖去除涂覆層,并將裸露部分拉長,在裸露部分涂鍍沸石膜;將該微光纖同時穿過環形槽與通槽,且環形槽與通槽相切處的微光纖相交,然后在光譜測試系統下,調整耦合接觸長度,使其達到最佳耦合狀態,微光纖兩端與通槽固定。本發明具有結構簡單,可操作性強,具有高穩定性與高可靠性,適用于各種氣體液體分子的檢測。
聲明:
“基于沸石膜光纖諧振腔的生物化學傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)