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            > 用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器

            用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器

            752   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 07:00:45
            本發明公開了一種用于檢測SF6替代氣體分解產物的亞微米薄膜傳感器,包括傳感器基底,傳感器基底上表面為電流感應薄膜,用于輸出傳感器響應電流,傳感器基底下表面為粘合材料層,用于固定傳感器基底,電流感應薄膜上設置有氣敏探針陣列,氣敏探針陣列外部涂覆有無定型氟聚合物層,其中,傳感器基底采用聚四氟乙烯或者液態硅膠材料制成,電流感應薄膜采用金屬材料制成,通過屏蔽電纜輸出響應電流,粘合材料層為低滲透性的聚丙烯薄膜,氣敏探針陣列材料為對氟原子敏感的葉綠素,氣敏探針陣列利用等離子體化學氣相沉積法制備而成,本發明解決了現有技術中缺乏能夠精確檢測環境友好型SF6替代氣體分解組分的設備的問題。
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