本發明提供了一種防雷器球形部件激光化學氣相沉積陶瓷層流水線及生產工藝,所述流水線包括控制器和工作室,工作室的外側位于進料口處設有單層進料裝置,工作室內均勻設有多個相互平行的逆向輸送輥,各逆向輸送輥上自進料口向出料口形成有S形輸送軌道,工作室的頂部沿逆向輸送輥的輸送方向設置有多個激光器,各激光器的焦點位置處設置可放置硅基片或鋁基片的靶材座,工作室的底部設置有氧氣入口,工作室的出料口端連通有空氣過濾裝置,工作室中位于出料口處設置有不良品檢測裝置。在該流水線上采用該生產工藝處理后的球形部件的表面可形成致密不導電的陶瓷膜,實現球形部件表面絕緣層的一次制備、質量的自動檢測及良廢產品的自動分類。
聲明:
“防雷器球形部件激光化學氣相沉積陶瓷層流水線及生產工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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