用于使用高靈敏性、小尺寸且具有低能耗的化學敏感場效應晶體管(CS?FET)設備的陣列的多種氣體或蒸汽的化學傳感的系統和方法。傳感器層為形成硅襯底上的源極和漏極之間的過渡金屬氧化物、稀土金屬氧化物或金屬納米粒子的超薄膜。傳感器層的功函數可以通過在其表面上的化學物質的吸附來操控。這些變化引起下層硅溝道的表面電位的變化,從而實現設備的電流調制。通過選擇適合的傳感器層,不同的化學物質會產生不同的輸出信號。這些信號的外部信號處理的使能以及傳感器和陣列輪廓匹配使得可以進行多氣體檢測。
聲明:
“化學敏感場效應晶體管傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)