本發明提供一種基于磁流體反饋的MEMS電化學角加速度傳感器,包括:外殼(100),呈圓柱環形狀,該圓柱環內部設有電解液(203);敏感核心(200),包括至少兩對相同的陽極(201)和陰極(202),至少部分設于電解液(203)中,用于檢測轉動信號并使之轉化為電流輸出信號;反饋核心,包括至少一對反饋電極(301)和至少一對磁鐵(302),反饋電極(301)至少部分設于電解液(203)中,磁鐵(302)位于外殼(100)的上表面和下表面;用于根據輸出信號產生反饋力,形成負反饋系統。本發明MEMS電化學角加速度傳感器既能保證大幅度地拓展電化學檢波器的頻帶范圍,又能保證傳感器輸出的穩定性以及減小線性失真度。
聲明:
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