本發明提供一種化學氣相沉積裝置,所述化學氣相沉積裝置包括擴散器,用于擴散待沉積氣體,以形成薄膜;載臺,用于放置待沉積基板,所述載臺與所述擴散器相對設置;在所述擴散器和所述載臺之間設置有至少一組光距離檢測組件,所述光距離檢測組件用于測量所述擴散器和所述載臺之間的間距。本發明的化學氣相沉積裝置,通過在擴散器和載臺之間設置光距離檢測組件,該光距離檢測組件用于檢測擴散器和所述載臺之間的間距,由于檢測過程不需要進行降溫處理,因此提高了生產效率。
聲明:
“化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)