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基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極電解液隔膜隔膜電解液電芯

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礦山行業   冶金行業   材料行業

礦山行業
探礦   采礦   選礦

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
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第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會

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?促進企業交流·搭建協作平臺--“第二屆全國工業爐窯及耐火材料產學研合作高峰論壇”于衡陽閉幕2025-04-03

礦山行業
探礦       采礦       選礦       通用
最新會議

2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產學研合作論壇”2023-08-02
?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
最新會議

第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
第十三屆全國濕法冶金工程技術交流會
2025綠色低碳冶金技術創新大會
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?紅土鎳礦加壓浸出及精煉新工藝下載：116
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?湖南樂海環?？萍加邢薰?邀您參加“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”！2024-06-25
?中集環?？萍迹◤V東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產業鏈融通與綠色低碳發展論壇”~！2024-06-14
?歡迎繼續申報“第二屆邱定蕃有色冶金青年科技獎”--6月28-30日“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”將在長沙召開2024-05-27
?合肥通用環境控制技術有限責任公司邀您參加第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會！2024-04-23
?順利閉幕--“全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議”在桂林市成功召開2023-07-25
?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

熱門報告
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環保行業
廢水處理       大氣治理       固/危廢處置       土壤修復
最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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檢測行業
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

熱門報告
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?取、制樣安全淺析下載：131
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?樣品變質引起采制樣和結算問題下載：96
?淺談質量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：95

最新報道
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
綜合
最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

熱門報告
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?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111
?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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?云南阿姆德YNAMDEL?— 源于實踐，鑄造“精”典2025-02-21
?重慶康普化學工業股份有限公司受邀參加“2024礦山化學品科技創新與應用交流會”！2023-12-28
?“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業技術創新論壇將于10月19-21日在貴陽召開--最新報告匯總2023-09-20
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?成都長杰科技有限公司受邀參加“有色金屬固/危廢安全處置與資源化利用技術研討會”2023-07-24
?廣域銘島數字科技有限公司邀您參加“中國鋁工業綠色低碳發展創新大會”~2023-04-14
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礦山行業

冶金行業

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環保行業

檢測行業

其他行業

最新報告

現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
含鈣鎂脈石礦物的有色金屬礦選礦藥劑發展及應用
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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最新報告

堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

?礦產品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：139
?取、制樣安全淺析下載：131
?取、制樣現狀及未來規劃/需求下載：108

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最新報告

2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
氧化鋁綠色生產蒸發工段節能新技術實踐與探索

熱門報告

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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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合肥金星智控科技股份有限公司

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材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 用于半導體晶片的化學機械拋光設備的裝載裝置

用于半導體晶片的化學機械拋光設備的裝載裝置

792 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:56:05

提供了一種用于半導體晶片的化學機械拋光(CMP)設備的裝載裝置。所述裝載裝置包括:裝載杯,具有杯狀盆缸;杯板,安裝在盆缸中;裝載板,支撐在杯板上以能夠吸收震動并安置晶片;驅動裝置和驅動桿,在拋光裝置的平臺和軸之間水平旋轉并垂直移動裝載杯;臂,連接在裝載杯和驅動桿之間。在盆缸、杯板和裝載杯的裝載板的一個或多個相互對應的位置處形成至少一個通孔。在處于對應裝載杯的位置的每個通孔中插入并安裝至少一個探頭組合件,該探頭組合件用于光學檢測在晶片上的拋光點的拋光厚度。在驅動裝置的一側設置光學厚度檢測裝置,該光學厚度檢測裝置能夠將光施加到在晶片上的層上以檢測反射光譜波長,并以通過從所檢測的反射光譜波長之間的光譜干涉信號提取的物理量變化來檢測晶片的層厚度。在臂中設置將每個探頭組合件和厚度檢測裝置連接的光纖電纜。因此,在對先放入的晶片執行拋光處理后和在對后續放入的晶片執行拋光處理前,或在對同一先放入的晶片執行后續拋光處理前,可以通過安裝在用于單步或多步拋光處理的CMP設備中的至少一個裝載裝置來測量晶片上的層的厚度,從而更快地傳輸并反映對后續晶片的拋光有用的信息,提高晶片拋光精度并簡化CMP設備的結構。

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“用于半導體晶片的化學機械拋光設備的裝載裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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