本發明公開了一種掃描化學反應顯微成像的方法及應用,屬于材料測試儀器技術領域。利用可以精確掃描和定位的中空納米探針進行樣品表面化學反應物種的微區采樣,結合采樣物種的精準轉移和高靈敏質譜探測分析,實現固體表面化學反應性能的顯微成像研究。該系統包括中空納米探針精確定位和掃描功能、中空納米探針的微區采樣功能、微區采樣的精準轉移功能、高效和高選擇性采樣物種的電離功能、高靈敏和高分辨離子分析和探測功能、樣品表面環境和反應氣氛控制功能。這是一種對表面化學反應物種包括原子、分子、自由基等在表面X、Y、Z三個維度上的分布進行空間分辨探測的方法,實現具備幾百到幾十納米分辨的表面或界面化學反應性能的顯微成像功能。
聲明:
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